اسپینکوتر vCOAT5 برای لایهنشانی یکنواخت انواع محلولها (فوتورزیست، پلیمر، سل–ژل، محلولهای نانو و…) روی زیرلایههای مختلف طراحی شده است. این دستگاه با ترکیب کنترل دقیق سرعت، برنامهریزی چندمرحلهای و سیستم خلا، امکان ساخت لایههای نازک تکرارپذیر و قابل اعتماد را برای کاربردهای تحقیقاتی و نیمهصنعتی فراهم میکند.
ویژگیهای اصلی اسپینکوتر vCOAT5
-
طراحی رومیزی جمعوجور با بدنهی مستحکم و مناسب قرارگیری روی میز آزمایشگاه
-
کنترل الکترونیکی دقیق سرعت چرخش با امکان تعریف و ذخیره برنامههای چندمرحلهای (Multi-step)
-
تنظیم مستقل سرعت، زمان و شیب تغییر سرعت در هر مرحله برای دستیابی به پروفایل لایهنشانی دلخواه
-
سیستم نگهدارنده زیرلایه بر پایه خلا برای جلوگیری از لغزش نمونه در دورهای بالا
-
امکان استفاده از چاکها و دیسکهای مختلف متناسب با ابعاد و شکل زیرلایه
-
کاربری ساده، مناسب هم برای کاربران حرفهای و هم محیطهای آموزشی پیشرفته
-
تکرارپذیری بالا بین دفعات مختلف لایهنشانی بهدلیل کنترل پایدار و لقی مکانیکی بسیار کم
کاربردها
-
لایهنشانی فوتورزیست در فرآیندهای ساخت میکرو و نانوساختار
-
پوششهای پلیمری، سل–ژل و لایههای نازک تحقیقاتی روی شیشه، ویفر سیلیکون و زیرلایههای مشابه
-
استفاده در آزمایشگاههای دانشگاهی، مراکز تحقیق و توسعه و خطوط پایلوت که به اسپینکوتر دقیق و قابلاعتماد نیاز دارند.
